在柔性电子器件的制备过程中,功能层薄膜的后处理会涉及到很多复杂的后处理过程,如热退火、UV光照等。而每种后处理过程都需要借助单独的设备或装置来完成,不仅增加了人工操作的步骤,同时也给器件制备带来很多不确定的影响因素。 AP300自动后处理平台具备多种后处理工艺,可以灵活设计后处理方案,系统自动按照工序设定依次完成各种后处理过程,既降低人工干预频次,也确保后处理工艺的一致性,具有操作简单、可靠性强