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微电子打印机制备压力传感器教程

 更新时间:2026-01-14 点击量:211

新建器件


首先按照下面压力传感器的结构新建层。

一层:电极层—打印(墨水:BASE-CP12  DPI:25um)

第二层:介电层—点胶(墨水:SENS-P300  点胶针头直径:160um)

第三层:电极层—打印(墨水:BASE-CP12  DPI:25um)


绘制图形


一层和第三层都采用喷墨打印,打印的墨水和图形都相同,可以一次性打印完成:
墨水采用BASE-CP12,DPI:25um,打印预处理温度为40℃。

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第二层采用点胶方式制备,绘制图形后需要进行点胶化处理:
墨水采用SENS-P300,点胶针头直径为160um,点胶间距为300um。

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整体绘制图形如下图所示:


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墨水参数设置


一层和第三层电极层采用墨水为BASE-CP12墨水,打印波形和参数选择软件默认的BASE-CP12墨水参数。后处理方式为140℃加热20min。

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第二层介电层采用的墨水为:SENS-P300,采用160um直径的点胶头,点胶间距为300um。这种墨水的点胶参数如下图所示。该层的后处理方式为70摄氏度退火3h,即点胶完这一层之后需要先退火后再进行后续操作。

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在进行第二层介电层点胶前,需要先做点胶的异层对齐,保证点胶位置准确。(具体操作可以查看微电子打印机用户手册7.8手动版异层对齐功能)


实际制作样品


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压力传感器性能


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